Clusteranlage mit acht Modulen fuer Aluminium-Metallisierung: NIITM und NIIEME starten Projekt der GK «Element»

Das ist ein wichtiger Schritt für die russische Mikroelektronik

Die Forschungsinstitute NIITM und NIIEME, die zur Unternehmensgruppe «Element» gehören, haben mit der Entwicklung der ersten russischen Clusteranlage mit acht Modulen für die Aluminium-Metallisierung mittels Vakuum-Bedampfung begonnen. Die Anlage ist für die Fertigung integrierter Schaltungen nach 180–90 nm auf Wafern mit 200 mm Durchmesser vorgesehen, wie der Pressedienst der GK «Element» mitteilte.

Projekt im Rahmen des Programms bis 2030

Das Vorhaben wird im Rahmen des Programms «Entwicklung des elektronischen Maschinenbaus bis 2030» umgesetzt und vom russischen Industrie- und Handelsministerium (Minpromtorg) unterstützt. Der Abschluss der Arbeiten ist für September 2030 geplant.

Aufbau der Clusteranlage für Aluminium-Metallisierung

Laut den Entwicklerinnen und Entwicklern liegt der zentrale Vorteil der neuen Anlage in der Auslegung des Transportsystems: Zwei Verteilmodule zusammen mit einer Pufferkammer sollen ein hohes Vakuumniveau sowie eine entsprechende Schichtqualität sicherstellen. Zum Anlagenkomplex gehören zudem zwei Roboter-Manipulatoren, die die Produktivität erhöhen.

Das modulare Konzept erlaubt es ausserdem, die Konfiguration je nach Aufgabe anzupassen oder die Anlage für neue Anforderungen zu modernisieren. Durch die doppelte Ausführung einzelner Module soll der Betrieb auch während Wartungsarbeiten ohne Unterbrüche weiterlaufen.

Aufgaben von NIITM und NIIEME

Die Fachleute des NIITM übernehmen die Ausarbeitung der Konstruktionsdokumentation, den Aufbau von Prototypen sowie die Durchführung von Tests. Die Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler des NIIEME formulieren die technischen Anforderungen und führen technologische Erprobungen durch.

Nach Aussage des Generaldirektors des NIIEME, Alexander Kravtsov, wird die neue Anlage bei Unternehmen in Russland und im Ausland gefragt sein. Der Generaldirektor des NIITM, Michail Birjukov, betonte:

„Die Entwicklung einer inländischen Clusteranlage für das magnetronbasierte Aufbringen von Aluminium-Metallisierungsschichten, die den aktuellen Industriestandards entspricht, wird ein wichtiger Baustein für die Weiterentwicklung der Mikroelektronik in Russland. Die Entwicklung von Cluster-Equipment mit acht Prozessmodulen ist eine neue Herausforderung, die die Lösung einer Reihe komplexer wissenschaftlich-technischer Aufgaben erfordert.“